产品描述
产品描述
康宁7973/Corning 7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃,是为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。7973具有与ULE7972玻璃相似的成分,并且使用相同的火焰沉积工艺制造。从193nm到13.4nm的光刻转变要求步进光学从折射型到反射型的重大设计转变。在反射光学中,衬底材料应该是纯被动的,因此入射光应从光学元件和光掩模的多层涂层反射出去,而不引起由底层基底引起的任何机械或光学变形。为了使由微小温度变化而引起的变形最小化并满足严格的EUVL规范要求,基板需要具有接近零的热膨胀系数(CTE)和严格控制的零交叉范围,所以极低的热膨胀系数要求以十亿分之一摄氏度(ppb/C)表示。
产品名称:康宁ULE 7973超低膨胀玻璃
产品关键词:
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光学属性,热力学属性,以及机械属性和化学属性:
见图中所示英文表或下载相关附件
主要应用: 液晶电视、电脑显示器
笔记本电脑玻璃基板
移动排放控制系统用陶瓷载体和过滤器
通信网络用光纤、光缆、硬件和设备
用于药物开发的光学生物传感器
半导体和计量学中的光学
我们提供:
康宁(Corning)7973毛坯件大料
康宁(Corning)7973粗加工坯件
康宁(Corning)7973坯件的进一步加工服务,包括切割,成型,抛光,研磨,钻孔,取芯,倒边,倒角,3D巡边,激光雕刻与打标,单面抛光,双面抛光,环抛,离子束抛光加工,磁流变抛光加工,轻量化,沉孔,数控机加工,开槽,真空镀膜,蒸发镀膜,清洗,计量与测量,胶合,光学装配等。
现货坯件最大尺寸:1700mm(D)*170mm(H)
最大坯件加工尺寸:2000mm(L)*2000mm(W)*600mm(H)
材料等级:
EUV Grades
EUV Mask A Grade
Premium
Mirror
Standard
Tooling
主要优势
1)。康宁7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃;
2)。康宁7973具有与ULE 7972玻璃相似的成分,并且使用相同的火焰沉积工艺制造;
3)。接近零的热膨胀系数(CTE)和严格控制的零交叉范围,极低的热膨胀系数 ;
4)。为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。