产品描述
产品描述
为了满足客户在微光刻等前沿应用领域具有挑战性的质量要求,我们致力于持续研发改进产品。我们在研发方面的投资加上质量体系,为我们处于技术领先地位提供了主要支撑,并确保每次都能及时满足客户的需求。产品在均匀性和一致性方面具有明显的优势。最重要的是,在光学和机械性能相似的情况下,材料应力非常小且稳定。
熔融石英、半导体光学材料等
产品名称:超纯熔融石英玻璃材料/熔融石英
光学属性,热力学属性,以及机械属性和化学属性:
见图中所示英文表或下载下关文件
主要应用:
微光刻技术的应用
光刻镜头,
光掩模衬底
深紫外激光元件
光学标准件
准分子激光光学
光刻光学
光束传输元件
光波导
激光聚变
技术的应用
我们提供:
毛坯件大料
粗加工坯件
坯件的进一步加工服务,包括切割,成型,抛光,研磨,钻孔,取芯,倒边,倒角,3D巡边,激光雕刻与打标,单面抛光,双面抛光,环抛,离子束抛光加工,磁流变抛光加工,轻量化,沉孔,数控机加工,开槽,真空镀膜,蒸发镀膜,清洗,计量与测量,胶合,光学装配等。
现货坯件最大尺寸:1700mm(D)*275mm(H)
最大坯件加工尺寸:2000mm(L)*2000mm(W)*600mm(H)
材料等级:
标准级* * 0 - 5 AA - F ≤ 5 5 < 1000 800 - 1000
KrF 级* 0, 1, 2 AA, A, C, F ≤ 1 5 < 500 800 - 1000
ArF 级* 0, 1, 2 AA, A, C, F ≤ 1 5 < 100 800 - 1000
反射级 NS ≤ 5 1 NS 800 - 1000
工业级 NS NS ≤ 5 1 NS 800 - 1000
主要优势:
1)。极低的热膨胀系数;
2)。优异的光学性能;
3)。在深紫外波段的特殊透射率;
4)。材料应力非常小且稳定,杰出的均匀性和一致性